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法柯特科技(江苏)有限公司

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靶材真空喷涂生产线的技术核心与创新点

及生产的靶材与大气喷涂靶材比较所具有的优势


我公司专注于高温难熔融材料的真空喷涂技术,打破技术壁垒和难题,自主研发出具有世界科学水平的靶材真空喷涂生产线,我公司生产的靶材,经国家有色金属及电子材料分析测试中心检测,各项指标均达到和超过世界高端靶材的水平;经国内多家知名镀膜企业使用,反应良好。我公司靶材真空喷涂生产线和靶材产品具有如下技术核心与创新点:


一、技术核心

1、我公司采用了自主研发的超高温、大功率等离子喷涂枪,更为有效的融熔了高温难熔金属、陶瓷粉末材料,焰流速更快,使靶材的晶界结合更致密、晶粒更细 、孔隙更少、密度更高。

2、靶材制备过程始终处于“真空”环境,区别于国内所有靶材的大气喷涂制备过程的常规技术,杜绝了气相杂质的产生,使靶材的成分、纯度得到有效保证。

3、在靶材热喷涂制备过程中,等离子枪焰流中科学配注了还原气体,使材料在热熔、冷却过程中具备充分的还原性,保证材料的物化性质不发生改变。

4、采用密闭循环水冷却控制系统,使靶材在热喷涂过程中,有效控制了靶材的温度,喷涂完成后按设定要求梯度降温,释放了靶材的材质内部应力,消除了客户在溅射制程中的靶材开裂隐患。


二、创新点

1、靶材密度更高、晶粒更细、分布更混匀、内部孔隙率更少,用户使用过程中消耗均匀、使用寿命同比延长、镀膜膜层更加致密。

2、靶材纯度更纯,氧、氮含量更低,保证了靶材材质的纯正性,使用户的溅射气氛更加可控,确保了膜层的高品质。

3、靶材材料内部内应力更小,杜绝了客户在使用升温过程中,靶材的开裂、掉渣、污染溅射真空腔的现象。

4、导电率更均匀、更平稳,使客户在溅射镀膜过程中,靶材放电过程更加充分,保证了设备电流、电压的稳定,杜绝了靶材中毒事故,镀膜膜层更加均匀致密。


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