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平板显示产业也是高纯溅射靶材的主要应用领域之一。 平板显示器主要包括液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、有机发光二极管显示器（OLED）等，以及在 LCD 基础上发展起来的触控（TP）显示产品。镀膜是现代平板显示产业的基础环节，几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜，其所使用的 PVD 镀膜材料主要为溅射靶材。
平面显示面板的生产工艺中，屏显玻璃基板要经多次溅射镀膜形成 ITO 玻璃，然后再经过镀膜、加工组装用于生产 LCD面板、 PDP 面板及 OLED 面板等。对于触控屏，则还需将 ITO 玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极，再与防护屏等部件组装加工而成。此外，为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能，还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。
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