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溅射靶材安装过程中重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁严重翘曲或背板严重翘曲，靶材安装时会开裂或弯曲，靶材的导热性会受到很大影响，导致溅射过程中热量无法散发，导致靶材开裂或脱靶。为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请仔细检查和澄清溅射枪冷却墙的平整度，并确保密封圈始终处于位置。
由于设备运行过程中使用的冷却水的清洁度和可能产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽中，因此在安装目标材料时需要检查和清洁阴极冷却水槽，以确保冷却水循环顺畅，进出口不会堵塞。有些阴极设计与阳极的空隙较小，所以在安装溅射靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体，否则会产生短路。
拧紧目标夹具时，请用手拧紧一个螺栓，然后用手拧紧对角线上的另一个螺栓，然后用工具拧紧，直到安装了所有螺栓。靶材安装完成后，需要对整个阴极进行短路检查和密封检查。建议用电阻仪摇表判断阴极是否短路。阴极无短路后，可进行检漏检查，将水通入阴极，确定是否有漏水。
为了避免因溅射过程中不洁净的腔而短路和弧形，有必要分阶段去除溅射轨道中间和两侧积累的溅射物，这也有助于用户连续以*大功率密度溅射。
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