锌靶材

锌靶材是一种应用广泛的材料。它是由高纯度锌材料制成的，广泛应用于磁盘涂层、光学薄膜、太阳能电池、半导体制造、医学、航空航天等领域。

锌靶材的制备工艺

1、电弧法制备锌靶材

电弧法是制备锌靶材的一种主要方法，原料为高纯度的金属锌。制备过程中，将金属锌放在一定的气氛下进行电弧加热，使其被蒸发，沉积到冷凝器上。

电弧溅射法是将锌制成圆形靶，通过电弧放电，将靶材高温蒸发，产生金属离子沉积在基片上。这种制备方法可以使靶和基片之间的化学反应控制的很好，可以制备出高质量的锌薄膜。

2、热蒸发法制备锌靶材

热蒸发法制备锌靶材中，主要使用的是靶材分子束蒸发（Molecular Beam Epitaxy，MBE）工艺与热电偶（Thermal Evaporation）工艺结合使用。这种方法就是使用不同的蒸发源将锌原子蒸发在基片上，形成所需的形态。这种方法对材料的控制很高，可以获得很好的均匀性和晶型。

3、磁控溅射法制备锌靶材

磁控溅射法制备锌靶材，主要是通过利用自适应微调控制技术，让气氛进行部分氧化，然后使用磁场将锌靶材断开，产生离子溅射沉积在基片上的形态。此方法可以生产出非常高质量的薄膜，并且可以快速制备。

锌靶材的性能特点

1、化学特性

锌是一种化学稳定的金属，钝化的表面通常是一层半氧化锌膜。锌在常温下稳定，不与水或大多数酸反应。在空气中，锌会与氧化物形成一层氧化物覆盖物，防止进一步氧化。

2、物理特性

锌是一种良好的导体，是铜导体的一半。锌是一种银白色的金属，融点为419.58℃，熔化时密度降低。其比重为7.14g/cm3，压力达到2GPa时可以产生金属相变。

3、机械特性

锌具有良好的塑性和韧性，可被轧制和冷锻制成各种形状。但锌的硬度较低，不适合制作高强度零件。其硬度与锌的纯度密切相关。锌的强度和韧性随着温度的升高而降低，但在-80℃以下，锌硬化效果很好。